Triklorosilan

Trihlorosilan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) je bezbojna, vrlo isparljiva tečnost sa oštrim mirisom hlorovodonika koji guši. Kipeći na 31,8 stepeni i burno reagujući sa vlagom, to je ključna sirovina za Siemens proces za proizvodnju polisilicijuma visoke{10}}čistoće za fotonaponske solarne ćelije i poluprovodničke pločice. TCS se također široko koristi u rastu silicijumskih epitaksijalnih pločica, sintezi organosilicijuma (silikonska ulja, gume, smole, sredstva za spajanje), CVD taloženju tankog filma silicijuma i kao selektivno redukciono sredstvo u organskoj sintezi. Dostupan u industrijskoj klasi (veće ili jednako 99,0%) i elektronskom razredu (do 9N čistoće). Klasifikovan kao vodoreaktivan i lako zapaljiv (UN 1295, klasa 4.3+2.3, PG I) sa izuzetno širokim rasponom eksplozivnosti od 1,2% – 90,5%; rukujte samo u strogo bezvodnim uslovima sa zaštitom od suvog azota.